截至9月29日11:06，上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數上漲0.75%，成分股京儀裝備上漲3.97%，拓荊科技上漲3.55%，中微公司上漲2.97%，中科飛測上漲2.03%，富創(chuàng)精密上漲1.92%。科創(chuàng)半導體ETF（588170）上漲0.41%，最新價報1.48元。

從資金凈流入方面來看，科創(chuàng)半導體ETF近8天獲得連續(xù)資金凈流入，最高單日獲得6.32億元凈流入，合計“吸金”14.90億元，日均凈流入達1.86億元。截至9月26日，科創(chuàng)半導體ETF規(guī)模突破23億元，創(chuàng)歷史新高。

方正證券認為，2025年以來半導體設備國產化進程進入加速期，上半年中國半導體設備市場國產化率達21%（同比提升5個百分點），大基金三期首投聚焦鍵合設備（拓荊鍵科獲4.5億元投資），華為昇騰AI芯片路線圖推動先進制程需求，國產設備商在先進封裝、核心零部件等關鍵環(huán)節(jié)實現技術突破，受益于AI算力與國產化的雙重驅動，行業(yè)呈現“政策助力、技術突破、需求拉動”的良性循環(huán)。

相關ETF：公開信息顯示，科創(chuàng)半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）跟蹤上證科創(chuàng)板半導體材料設備主題指數，囊括科創(chuàng)板中半導體設備（59%）和半導體材料（25%）細分領域的硬科技公司。半導體設備和材料行業(yè)是重要的國產替代領域，具備國產化率較低、國產替代天花板較高屬性，受益于人工智能革命下的半導體需求擴張、科技重組并購浪潮、光刻機技術進展。

半導體材料ETF（562590）及其聯接基金（A類：020356、C類：020357），指數中半導體設備（59%）、半導體材料（24%）占比靠前，充分聚焦半導體上游。