中瓷電子：陶瓷加熱盤產品已批量應用于國產半導體關鍵設備

每日經濟新聞 2024-11-20 22:43:11

每經AI快訊，11月20日，中瓷電子在互動平臺表示，公司已開發(fā)了精密陶瓷零部件用氧化鋁、氮化鋁核心材料和配套的金屬化體系，建立了完善的精密陶瓷零部件制造工藝平臺，開發(fā)的陶瓷加熱盤產品核心技術指標已達到國際同類產品水平并通過用戶驗證，實現了關鍵零部件的國產化，已批量應用于國產半導體關鍵設備中。

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