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固高科技:半導體相關設備一直是公司技術、產品的一個重點應用領域

每日經濟新聞 2023-09-05 12:53:48

每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請問,公司是否取得一種光刻機運動軌跡規(guī)劃方法的專利?

固高科技(301510.SZ)9月5日在投資者互動平臺表示,半導體相關設備一直是公司技術、產品的一個重點應用領域。公司在2014年曾因控制類技術、產品在半導體后封裝相關設備領域的應用與對行業(yè)的貢獻獲得國家科技進步二等獎。 半導體前道設備所需的控制、伺服驅動與系統(tǒng)相關的技術、產品,公司也一直在持續(xù)研究、迭代與應用部署;公司于23年上半年有獲批一項關于半導體設備運動軌跡規(guī)劃的專利《光刻機運動軌跡規(guī)劃方法、裝置、計算機設備和存儲介質》。

(記者 王可然)

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