澎湃新聞 2020-06-18 13:25:49
據澎湃，韓國SK Materials于6月17日發(fā)布消息稱，已啟動用于半導體生產工序的氟化氫氣體的量產。日本經濟新聞中文網報道稱，SK Materials生產的氟化氫據稱達到了一定水平的高純度，三星電子和SK海力士將采用。報道稱，SK Materials已在韓國東部的榮州市的工廠啟動量產。
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